BORA High Precision Positioning Hexapods

BORA High Precision Positioning Hexapods

MINIATURE HEXAPOD FOR HIGH ACCURACY POSITIONING


BORA hexapod is a compact 6DOF parallel kinematics system for the positioning and adjustment of precision elements with a resolution of 0.1 µm.

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BORA Datasheet

BORA 3D Step (zip)

BORA 3D view (PDF)

Etendue ± 20 mm / ± 15 °
Résolution 0.05 µm / 1 µrad
Répétabilité ± 0.15 µm / ± 2 µrad
Charge 10 kg vertical / 5 kg horizontal
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Description

Détails

BORA hexapod meets the most demanding criteria of the optics and nanotechnologies in terms of resolution, accuracy, stability and size.

Its dimensions allows an integration in a small invironment, for instance at the tip of a goniometer for an application on synchrotron beamline, or on an optical ground support equipment to align and calibrate space optics.

BORA hexapod can be used in any orientation: vertical, horizontal, upside down…

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Fonctionnalités

► High vacuum compatibility down to 10-6 mbar

► Clean room compatibility

Applications

► Instrumentation

► Optics

► Test laboratories

► Aeronautics and spatial

► Metrology

► Semiconductors

► Synchrotrons: sample, KB mirrors positioning

Nom

BORA

Etendue Tx, Ty (mm) ± 20
Etendue Tz (mm) ± 10
Etendue Rx, Ry (deg) ± 10
Etendue Rz (deg) ± 15
Résolution Tx, Ty, Tz (nm) 0.05
Résolution Rx, Ry, Rz (μrad) 1
Répétabilité Tx, Ty (μm) ± 0.15
Répétabilité Tz (μm) ± 0.15
Répétabilité Rx, Ry, Rz (μrad) ± 2
Vitesse (mm/s; deg/s) 2; 2
Rigidité X, Y (N/μm) 1
Rigidité Z (N/μm) 10
Capacité de charge utile (kg) 10 (vertical orientation)
5 (horizontal orientation)
Type de moteur DC motor, gearhead
Ecart de température de fonctionnement (°C) 0 to + 50
Matériaux Aluminum, steel, stainless steel
Taille plate-forme mobile (mm) Ø160
Ouverture centrale (mm) Ø43 for mobile platform
Ø36 for fixed platform
Hauteur en position médiane (mm) 145
Masse (kg) 4.3
Longueur de câble (m) 3
Options Clean room compatibility
Low temperature compatibility down to -40°C
Vacuum compatibility
Type de contrôleur ALPHA
Interface Ethernet, USB
Source de courant 110-240 VAC / 50-60 Hz
Prix Request a quote
Quantité