BORA

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MINIATURE HEXAPOD FOR HIGH ACCURACY POSITIONING

BORA hexapod is a compact 6DOF parallel kinematics system for the positioning and adjustment of precision elements with a resolution of 0.1 µm.

Etendue Tx, Ty (mm)	± 20
Etendue Tz (mm)	± 10
Etendue Rx, Ry (deg)	± 10
Etendue Rz (deg)	± 15
Résolution Tx, Ty, Tz (nm)	0.05
Résolution Rx, Ry, Rz (μrad)	1
Répétabilité Tx, Ty (μm)	± 0.15
Répétabilité Tz (μm)	± 0.15
Répétabilité Rx, Ry, Rz (μrad)	± 2
Vitesse (mm/s; deg/s)	2; 2
Rigidité X, Y (N/μm)	1
Rigidité Z (N/μm)	10
Capacité de charge utile (kg)	10 (vertical orientation) 5 (horizontal orientation)
Type de moteur	DC motor, gearhead
Ecart de température de fonctionnement (°C)	0 to + 50
Matériaux	Aluminum, steel, stainless steel
Taille plate-forme mobile (mm)	Ø160
Ouverture centrale (mm)	Ø43 for mobile platform Ø36 for fixed platform
Hauteur en position médiane (mm)	145
Masse (kg)	4.3
Longueur de câble (m)	3
Options	Clean room compatibility Low temperature compatibility down to -40°C Vacuum compatibility
Type de contrôleur	ALPHA
Interface	Ethernet, USB
Source de courant	110-240 VAC / 50-60 Hz

Description: Détails

BORA hexapod meets the most demanding criteria of the optics and nanotechnologies in terms of resolution, accuracy, stability and size.

Its dimensions allows an integration in a small invironment, for instance at the tip of a goniometer for an application on synchrotron beamline, or on an optical ground support equipment to align and calibrate space optics.

BORA hexapod can be used in any orientation: vertical, horizontal, upside down…
Fonctionnalités: ► High vacuum compatibility down to 10-6 mbar

► Clean room compatibility
Applications: ► Instrumentation

► Optics

► Test laboratories

► Aeronautics and spatial

► Metrology

► Semiconductors

► Synchrotrons: sample, KB mirrors positioning

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